晶盛机电的子公司有:23个,分别是:内蒙古晶环电子材料有限公司、宁夏晶环新材料科技有限公司、浙江晶瑞电子材料有限公司、宁夏鑫晶盛电子材料有限公司、杭州中为光电技术有限公司、浙江求是半导体设备有限公司、宁夏创盛新材料科技有限公司、浙江晶创自动化设备有限公司、浙江科盛智能装备有限公司、浙江晶钰新材料有限公司、宁夏晶创智能装备有限公司、浙江晶鸿精密机械制造有限公司、浙江晶盛星河软件有限公司、浙江美晶新材料股份有限公司、杭州慧翔电液技术开发有限公司、晶盛机电日本株式会社、浙江晶诚新材料有限公司、宁夏晶钰新材料科技有限公司、绍兴上虞晶信机电科技有限公司、浙江晶盛创芯半导体设备有限公司、杭州汉创智能装备有限公司、绍兴上虞晶研半导体材料有限公司、JSTN PTE LTD.