中微半导体欲与临港片区合作 打造摆脱“卡脖子”半导体基地

　　原标题：中微半导体欲与临港片区合作，打造摆脱“卡脖子”半导体基地

　　昨日，首届“临港新片区投资论坛”在上海举行，国内集成电路、人工智能、生物医药、国际贸易与跨境物流等领域的产业龙头、大型金融与投资机构等参与此次会议。

　　国内半导体设备龙头中微半导体设备(上海)股份有限公司董事长兼首席执行官尹志尧表示，临港新片区承载国家战略使命，立足‘卡脖子’和新兴产业关键技术环节的创新发展，对集成电路产业政策支持力度非常大，这里将成为世界级先进集成电路产业高地。【中微公司(688012)、股吧】希望建立一个临港半导体设备和材料产业基地，其中有研发中心、大规模生产基地、销售和结算中心、产品投资平台，集成电路工业互联网平台。

　　据悉，中微公司是我国集成电路设备行业的领先企业，目前开发的产品以集成电路前道生产的等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备等关键设备为主，并已逐步开发应用于后道先进封装、MEMS、Mini LED、Micro LED 等领域的泛半导体设备产品。

　　作为科创板首批上市企业，中微半导体成立于 2004 年 5 月，是我国集成电路设备行业的领先企业，主要从事高端半导体设备的研发、生产和销售。自成立以来，其主要业务是开发加工微观器件的大型真空工艺设备。

　　中微公司的等离子体刻蚀设备已在台积电、中芯国际、海力士、长江存储、格罗方德、博世、意法半导体等国际一线客户从 65 纳米到 14 纳米、7 纳米和 5 纳米的集成电路加工制造及先进封装中有具体应用。中微公司的 MOCVD 设备在【三安光电(600703)、股吧】（600703）、璨扬光电、华灿光电（300323）、乾照光电（300102）等行业领先客户的生产线上大规模投入量产，公司已成为世界排名前列、国内占领先地位的氮化镓基 LED 设备制造商。

　　目前，其开发的产品以集成电路前道生产的等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备等关键设备为主，并已逐步开发应用于后道先进封装、MEMS、Mini LED、Micro LED 等领域的泛半导体设备产品。

　　值得关注的是，作为科创板首批上市企业、国内半导体设备龙头厂商，中微公司也备受关注。中微公司近期发布公告称，公司、公司控股子公司中微汇链科技(上海)有限公司及公司全资子公司中微半导体设备(厦门)有限公司自 2019 年 11 月 21 日至 2019 年 12 月 5 日，累计获得政府补助款项共计人民币 2,535.83 万元。