国产替代!国产芯片离子注入机突破,中芯国际可实现去美化了
摘要: 众所周知,芯片是由晶圆制造出来,但过程非常的复杂,比如要对晶圆进行光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、化学机械研磨等等过程。 每一个过程都需要用到相关的设备,比如光刻机光刻机、刻蚀要刻蚀机,离子注入要离子注入机等等,而这些设备大多是欧美厂商生产的,被美国限制进口,所以这也是中国芯发展缓慢的原因之一。
众所周知,芯片是由晶圆制造出来,但过程非常的复杂,比如要对晶圆进行光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、化学机械研磨等等过程。
每一个过程都需要用到相关的设备,比如光刻机光刻机、刻蚀要刻蚀机,离子注入要离子注入机等等,而这些设备大多是欧美厂商生产的,被美国限制进口,所以这也是中国芯发展缓慢的原因之一。
目前这些芯片制造设备中,中国最强的是刻蚀机,中微半导体生产的刻蚀机处于国际领先水平,已经用于台积电5nm芯片的制造了。
而近日,传出了消息,那就是离子注入机也实现了突破,达到了国际水平,可以替代欧美产品,帮助中芯国际实现去美化。
中国电子科技集团旗下的电科装备自主研制出了高能离子注入机,成功实现百万电子伏特高能离子加速,填补了国内在高能离子注入机上的空白。
一直以来,离子注入机国产率非常低,能生产的也是用于较低芯片工艺的,比如40/55/65/90nm等工艺,而先进工艺的离子注入机,Applied Materials、Axcelis、SEN、AIBT 等国际品牌垄断。
尤其美国的Applied Materials(应用材料),在离子注入机方面,有着非常高的市场份额,此前中芯国际就大量采购了应用材料的离子注入机。
其实此前,中电科的大束流28nm离子注入机,已经在中芯国际12英寸生产线现场使用了,而这次高能离子注入机推出,能够用于中芯国际14nm,甚至未来的N+1、N+2等工艺的芯片制造了。
目前半导体设备国产替代正当时,尤其随着华为芯片禁令升级,中芯国际非常有意愿实现去美化,而离子注入机的面市,又给了中芯国际信心,也给了中国芯信心,你觉得呢?
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