睿创微纳与烟台开发区管委合作，烟台新型半导体技术研究院明年投用

　　烟台新型半导体技术研究院项目预计2022年初投入运营,全部建成后，将成为胶东地区首个新型半导体公共服务平台。

　　烟台新型半导体技术研究院由烟台业达经济发展集团有限公司、烟台睿创微纳技术股份有限公司共同出资成立，总投资5亿元，建筑面积约1.5万平方米，主要面向5G通讯、新能源汽车、自动驾驶、工业互联网等应用领域，建设一条8英寸微机电系统工艺线和一条化合物半导体工艺线，打造集特色芯片及智能微机电系统传感器设计、制造与测试一体化的公共服务平台。

　　半导体研究院项目包括建设一条化合物半导体芯片工艺线和一条MEMS工艺线，满足研发、中试要求，并为烟台发展新型半导体产业提供平台支持。

　　其中，化合物半导体芯片工艺线面向半导体激光器、光电探测器、微波器件以及功率器件；MEMS工艺线面向高端光学MEMS器件、RF MEMS器件和惯性MEMS传感器等。项目达产后，预计年产能2.5万片，年产值1.6亿元。

　　2020年7月24日，睿创微纳与烟台开发区管委签署了《烟台经济技术开发区管理委员会、烟台睿创微纳技术股份有限公司共建“烟台新型半导体技术研究院”合作框架协议》。

　　当时资料显示，半导体研究院拟投资15亿元，建设集特色芯片及智能MEMS传感器的设计、制造、测试与封装一体化的开放性研发平台，为区域内及周边地区相关企业、学校和科研院所提供公共服务。一期投资5亿元，建设一条8英寸MEMS工艺线和一条化合物半导体工艺线，满足研发和中试要求。