万业企业：上半年净利润增逾五成 集成电路离子注入机再签新单

　　（记者 吴科任）8月27日晚，万业企业（600641）披露2021年半年报。报告期内，公司实现营业收入6.09亿元，同比增长28.25%，其中集成电路设备收入同比增长223%；归母净利润为2.79亿元，同比增长55.18%；研发费用为2239万元，同比增长575.23%。

　　万业企业自2015年开始布局转型，目前聚焦于半导体装备与材料产业。公司集成电路核心装备业务涵盖两方面：一是旗下控股子公司凯世通的集成电路核心设备离子注入机；二是牵头收购的半导体设备领域精密零部件供应商Compart Systems。

　　离子注入机获得多个订单

　　离子注入机是半导体产业中位于芯片制造前段工序的关键设备，价值量较高。上半年，凯世通在离子注入机设备验证、产品交付、销售收入以及新订单签署等工作上均取得重要进展。

　　一方面，凯世通自主研发的低能大束流离子注入机率先在国内一家12英寸主流集成电路芯片制造厂完成设备验证工作并确认销售收入。同时，凯世通重金属离子注入机和超低温大束流离子注入机已完成客户交付，高能离子注入机设备按客户交付计划进行组装。

　　另一方面，凯世通新增与国内另一家12英寸芯片制造公司签署1台低能大束流超低温离子注入机和1台高能离子注入机订单。

　　市场需求稳中有升。中信建投（601066）研报显示，国内晶圆厂以及存储厂未来2年-3年处于持续扩产期，为国产设备厂商提供丰厚成长土壤。国内主要芯片制造企业正积极寻求扩产，新增产能合计约52万片，主要集中在成熟制程，预计新增晶圆产能需采购离子注入机520台-780台。

　　此外，目前国际先进集成电路厂商大力发展FinFET和3D NAND等集成电路技术，将给离子注入机带来新的需求。

　　境外子公司打入国内市场

　　近年来，万业企业已成长为集成电路装备领域的平台型公司，拥有国际和国内两种产业资源。

　　2020年12月，万业企业牵头境内外投资人完成对全球领先的集成电路设备精密零组件及流量控制解决方案供应商Compart Systems收购，间接成为其第一大股东。

　　Compart Systems主要产品包括BTP组件、装配件、密封件、气棒总成、气体流量控制器（MFC）、焊接件等，产品用于集成电路制造工艺中氧化/扩散、蚀刻和沉积等设备所需的精确气体输送系统。公司客户主要为知名的半导体设备商和领先的工业企业集团等。

　　报告期内，Compart Systems在现有订单、新客户拓展、国内产能规划等方面均取得良好进展。例如，公司的相关产品打入了国内集成电路设备公司；签约浙江海宁新建Compart制造中心，该项目总投资30亿元，是海宁市2021年重点引进的半导体领域产业项目。

　　万业企业表示，根据SEMI数据披露，2020年全球半导体设备销售额712亿美元，同比增长19%。受益于全球半导体设备业绩提升，预计Compart Systems在下半年将继续保持强劲的业绩增长趋势。

　　据了解，设备是集成电路产业发展的关键环节，而设备的核心零部件是更加薄弱的领域。据VLSI资料显示，半导体设备制造中最关键的零部件大致分为5个类别，包括真空泵、RF电源、硅片传送、气体与液体控制及其它。