大族激光真能制造高端光刻机吗？原来是用于LED，并非集成电路

　　在芯片热潮中，光刻机作为中国半导体的短板，成为大众关注的焦点。光刻机对国内厂商来说，为什么如此重要？原因在于光刻机在芯片制造中异常重要，同时制造具有很高难度，一直处于产业链风口浪尖的位置。目前最先进的EUV设备单台平均售价高达1.04亿欧元。

　　目前市场上主要的光刻机供应商有荷兰的ASML、日本的NIKON和CANON，以及中国大陆的上海微电子装备(SMEE)。上海微电子是国内光刻机领军者，其IC前道光刻机可以实现90nm制程，未来有望逐步实现技术突破。垄断高端光刻机市场的ASML是一家荷兰公司，中文名称为阿斯麦尔。

　　目前，国内厂家纷纷发力光刻机。6月5日，总投资13亿元的上海博康光刻机及光刻材料项目正式签约落户高陵。上海博康光刻设备及光刻材料项目总占地200亩，总投资13亿元，满产后年产值20亿元以上，年贡献税收1亿元以上。上海博康落户高陵，将填补西安市半导体光刻领域产业的空白，也将吸引电子信息产业聚集，拉伸先进制造产业链条，为西安产业动能转换和经济结构优化升级做出积极贡献。

　　《人民网》曾在今年1月发表文章，称上海微电子装备有限公司（SMEE）通过十七年的“卧薪尝胆”，持续攻关，基本掌握了高端光刻机的集成技术，并部分掌握了核心部件的制造技术，实现了“用中国人的光刻机造中国芯”的梦想。其发展过程，为我国突破尖端科技并有效将研发与产业化结合提供了诸多可借鉴的经验。

　　2019年，人民网曾发布《上海微电子：国产光刻机孵出中国芯 登上智能制造业珠峰》的文章。2002年，光刻机被列入国家863重大科技攻关计划，由科技部和上海市共同推动成立上海微电子装备有限公司来承担，2008年国家又启动了“02”科技重大专项予以衔接持续攻关。经过十几年潜心研发，我国已基本掌握了高端光刻机的集成技术，并部分掌握了核心部件的制造技术，成为集光机电等多学科尖端技术于一体的“智能制造业中的珠穆朗玛峰”。

　　SMEE的决策者们在决定以高端光刻机开发为主线的同时，每天都在考虑当离高端产品的开发还有一定高峰要攀登的时候，在“半山腰”、在“山脚”下，能不能把已经掌握或部分掌握的技术变成产品，去服务于行业。基于这个思路，SMEE就形成了很多“沿途下蛋”的产品。

　　目前，上海微电子装备的90nm光刻机仍代表着国产光刻机最高水平，而其也只占有低端光刻机市场。上海微电子装备官网显示，其目前量产的光刻机包括200系列光刻机（TFT曝光）、300系列光刻机（LED、MEMS、Power Devices制造）、500系列光刻机（IC后道先进封装）、600系列光刻机（IC前道制造）。

　　6月5日，上海微电子装备发布声明称，公司在之前90nm的基础上，将在2021年至2022年交付国产第一台28nm的immersion式光刻机，虽然与当前主流荷兰的7nm芯片制备工艺还有大的差距，但也标志着国产光刻机的飞跃进步，在逐渐减少与荷兰ASML公司的差距。

　　目前，除上海微电子之外，还有不少公司加大投入研发光刻机，努力填补我国在高端光刻机领域的空白。近日,我国激光装备龙头企业大族激光宣布公司正自研光刻机，在研项目主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，在PCB领域已经有光刻设备出货。准确地说，大族激光在社交互动平台回应网友提问公司的激光技术能否用于光刻机时表示，公司正在研发光刻机项目，并且项目重心放在LED与分立器件等领域的应用。

　　6月17日，大族激光又现身互动平台，表示此前提及的光刻机项目有了新的进展，或将在今年年底实现小批量销售，不过大族激光早已表明该项目并不是为了研发大家想象中的高端光刻机设备，该产品应该是较为低端的光刻机设备。请注意，大族激光研发的并不是大家想象中的高端光刻机设备，该产品应该是较为低端的光刻机设备。

　　6月19日，中国经营报发表《大族激光误入光刻机概念》文章：尽管涉足光刻机产业，实际上大族激光自研的光刻机应该是较为低端的光刻机设备。“LED领域的光刻机线宽要求相比很粗，同时它只是做单层光刻就可以了，不像我们平常所说的集成电路（IC）光刻机那样要通过多层光刻，因为集成电路光刻就像盖楼一样，盖一层光刻一层。”

　　陕西省半导体行业协会理事长何晓宁表示，相较于集成电路光刻机，LED光刻机很简单，它的线宽可能需要一个微米就差不多，更不要说纳米了，而且目前国外也不限制国内生产的这类光刻机，国外限制倾向于集成电路光刻机。尽管大族激光研制的并非高分辨率的光刻机，但何晓宁认为，大族激光自研的光刻机，至少是光刻机国产替代进口，国产化的进程。

　　公开资料显示,大族激光是亚洲最大、世界排名前三的工业激光加工设备生产厂商,主要产品包括激光打标机系列、激光焊接机系列、激光切割机系列、新能源激光焊接设备、激光演示系列、PCB钻孔机系列、工业机器人等多个系列200余种工业激光设备及智能装备解决方案。

　　但是，大族激光最近日子并不好过，业绩面临下滑。5月，大族激光对外发布了投资者关系活动记录表，其中第一季度公司实现营业收入15.10亿元，同比下降28.96％，归属上市公司股东净利润1.07亿元，同比下降33.25％，扣非净利润为0.63亿元，同比下降55.69％。2月28日晚，大族激光发布2019年业绩快报。报告显示，大族激光2019年营收95.81亿元，同比减少13.13%；净利润6.58亿元，同比下降61.73% 。

　　最近，公司计划分拆大族数控至国内上市。大族激光6月1日以通讯形式召开第六届董事会第三十四次会议通过了授权公司经营层启动分拆子公司深圳市大族数控科技有限公司境内上市前期筹备工作事宜，分拆大族数控有利于拓宽大族数控的融资渠道，支持大族数控持续研发和经营投入，提升公司持续盈利能力及核心竞争力。

　　大族数控是国内专业开发和生产应用于PCB（印刷线路板）生产具有国内领先、国际先进水平的“HANS”系列激光设备和数控钻铣设备等专用加工设备。产品包括：CO2激光钻孔机、UV激光钻孔机、机械钻孔机、UV切割成型机、机械成型机及LDI激光直接成像设备等。2019年大族数控业绩大幅下滑，2019年大族数控实现营业收入13.24亿元，同比下降22％，实现净利润2.4亿元，同比下降34.4％。