万顺新材:PECVD是指等离子体增强的化学气相沉积法EB电子束蒸镀是物理气相沉积的一种
摘要: 根据公司披露,高阻隔膜项目采用电子束技术,不过据了解,PECVD技术也可以生产阻隔性达到10-6的高阻隔膜。
5月20日讯,有投资者向【万顺新材(300057)、股吧】(300057)提问, 董秘您好,根据公司披露,高阻隔膜项目采用电子束技术,不过据了解,PECVD技术也可以生产阻隔性达到10-6的高阻隔膜,请问电子束技术和PECVD技术在生产高阻隔膜中的优劣势,公司怎么看?谢谢
公司回答表示,您好,两种技术的不同点:1.PECVD是指等离子体增强的化学气相沉积法,该技术利用含薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质,在衬底表面进行化学反应生成薄膜的方法。EB电子束蒸镀是物理气相沉积的一种,该技术利用电磁场精准高能轰击被蒸镀耙材,使之气化而附着在基材表面上。2.两种方法都能形成高阻隔膜层,但适应的基材有差异,PECVD多为片状基材,且速度慢,生产效率较低,而EB电子束蒸镀可适应柔性卷简基材,速度快,生产效率高。3.PECVD设备可用以加工处理片基太阳能电池片等电子器件,而EB卷对卷柔性蒸镀主要用于生产PET阻隔保鲜膜,也可生产部分电子元器件所需高阻隔膜材料。4.PECVD存在着制程化学污染及防治问题,而EB电子束蒸镀是一种物理过程,环保性更优。谢谢您的关注。
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