南大光电:公司目前研发的产品包含干式光刻胶和浸没式光刻胶
摘要: 南大光电(300346.SZ)1月7日在投资者互动平台表示,ArF光刻胶可以用于 90nm-14nm 技术节点的集成电路制造工艺。公司目前研发的产品包含干式光刻胶和浸没式光刻胶。
有投资者在投资者互动平台提问:您好,请问贵司的ARF光刻胶是干法还是浸湿法?是否可以用于 90nm-14nm 技术节点的集成电路制造工艺?
南大光电(300346.SZ)1月7日在投资者互动平台表示,ArF光刻胶可以用于 90nm-14nm 技术节点的集成电路制造工艺。公司目前研发的产品包含干式光刻胶和浸没式光刻胶。
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