离子注入机频获订单 万业企业再借收购延伸半导体产业链

　　（记者 李兴彩）4月16日晚间，万业企业（600641）发布2020年年报，公司实现营业收入9.31亿元，归属于上市公司股东的净利润3.15亿元。

　　更重要的是，公司转型半导体产业渐显成效，控股子公司凯世通自主研发的低能大束流离子注入机进入国内某主流12英寸晶圆厂进行验证，并获得多个正式订单；公司牵头收购了全球领先的集成电路(IC)设备气体输送系统精密零组件及流量控制解决方案供应商Compart Systems，进一步延伸了公司集成电路装备业务产业链，深化了转型战略。

　　2020年是万业企业转型集成电路核心装备业务的“收获之年”。公司披露，2020年，公司控股子公司凯世通获得多个不同类型的12英寸低能大束流离子注入机和高能离子注入机订单。其中，在集成电路离子注入机方面，国内某主流12英寸晶圆厂正在对凯世通的产品进行验证， 多家晶圆制造厂正在进行评估。

　　万业企业进一步披露，上述12英寸晶圆厂有望在今年第二季度对公司离子注入机完成客户端的验证工作。凯世通子公司北京凯世通与同芯成科技（绍兴）有限公司签署的3个订单正在积极推进，其中，低能大束流重金属离子注入机组装目前完成了95%。上海凯世通超越7纳米离子注入平台已通过客户验证并取得验收。

　　展望未来，万业企业表示，鉴于目前国际形势，国内集成电路制造厂采购国产化设备的需求迫切，随着公司下一代工艺设备完成验证以及商用推进，以及国内半导体设备制造商新一轮的晶圆制造投资大潮，公司聚焦的离子注入机在国内市场的需求有望持续增长，市场空间更具成长性。

　　此外，在光伏用离子注入机方面，凯世通开发了新一代IPV6000光伏离子注入机产品，并于2020年基本完成产品验证。较前一代iPV3000光伏离子注入机，该款产品在产能上可提升50%，有望进一步提升凯世通在光伏市场的竞争力。

　　在半导体设备领域，万业企业已经开始往更上游的半导体装备零部件进军，间接成为Compart Systems的第一大股东。Compart Systems是集成电路设备里最为关键核心的气体输送系统领域供应商之一，此次交易基准价为3.98亿美元，为近年来该领域最大规模的中资企业跨境并购。

　　持续布局集成电路装备产业链，万业企业还在2020年战略投资了安徽富乐德。富乐德是半导体精密洗净设备行业的领军者，其控股股东为上海申和热磁电子有限公司，申和热为日本上市公司Ferro Tec的全资子公司。Ferro Tec总部位于日本，是一家国际知名半导体产品与解决方案供应商，是全球半导体设备密封零部件、半导体设备陶瓷器件等细分领域的龙头。