上海新阳:公司KrF光刻胶已有小批量订单,暂无EUV光刻胶计划

    来源: 互联网 作者:佚名

    摘要: 近日,有投资者在投资者互动平台向上海新阳提问,公司由于研发euv光刻胶的打算?krf光刻胶何时批量生产?

      近日,有投资者在投资者互动平台向【上海新阳(300236)、股吧】提问,公司由于研发euv光刻胶的打算?krf光刻胶何时批量生产?

      上海新阳方面回应道:公司KrF光刻胶已有小批量订单,暂无EUV光刻胶研发计划。

      早在今年六月底,上海新阳就发表了一个公告。公告指出,上海新阳半导体材料股份有限公司(以下简称“公司”)自主研发的KrF(248nm)厚膜光刻胶产品近日已通过客户认证,并成功取得第一笔订单。

      按照他们的说法,KrF(248nm)厚膜光刻胶产品的开发和产业化是公司第三大核心技术——光 刻技术的重要方向之一,本次产品认证的通过及订单的取得,标志着“KrF(248nm) 厚膜光刻胶产品的开发和产业化”?取得了成功,为公司在光刻技术领域目标的全面完成奠定了坚实基础。

      新阳表示,光刻胶材料是集成电路制造领域的重要关键材料,广泛应用于350nm-14nm甚至?7nm?技术节点的集成电路制造工艺。随着国内晶圆厂建设的不断增多,以 及国外光刻胶巨头产能受限,供需紧张,国内对光刻胶产品的需求也将快速增长, 公司光刻胶产品的订单取得意义重大,将对公司该类产品的认证及销售产生积极 的作用,有利于公司业务的长期发展。

    关键词:

    上海新阳

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