迎5G时代 北方华创助力MEMS产业新发展

　　10月23日-25日，首届中国MEMS制造大会在苏州金鸡湖会议中心成功举办。本次大会由中国半导体协会MEMS分会主办，是国内首次以MEMS制造产业链为主题的行业大会，旨在整合产业资源，增强全产业联动，进一步推动MEMS产业领域的新发展。【北方华创(002371)、股吧】（002371）微电子在大会上发表了题为《5G芯片的刻蚀需求及北方华创的解决方案》的演讲，重点介绍了北方华创在5G相关MEMS制造领域的最新技术进展。

　　5G通信技术的开放性架构特点能够提供互联万物的网络基础，并兼备大容量数据传输能力。5G的推广应用必将推动IOT、汽车电子、机器人、VR/AR等生态领域的进一步发展和成熟。MEMS器件作为万物互联不可或缺的“神经末梢”，将迎来新的发展机遇和市场空间。5G对于高频器件的需求，也推动了高频GaN RF芯片、高频GaN Power芯片、SiC Power芯片以及GaAs Sensors等化合物芯片产业链的初步形成。

　　北方华创多年来精耕MEMS领域，攻关前沿半导体技术，能够为5G网络建设提供多样化的国产装备及工艺解决方案。NAURA HSE系列刻蚀设备针对MEMS硅刻蚀工艺研发，已通过多年量产验证，性能稳定；GSE C200刻蚀设备针对GaN/GaAs/IR红外传感等III-V和II-VI材料研发，刻蚀材料范围广，兼具低速低损伤的原子层（ALE）刻蚀能力；GDE C200专为SiC背部通孔刻蚀、SiC栅槽刻蚀设计，工艺兼容性良好，能够完全满足器件制程要求。

　　5G时代开启，万物智联来临，包括MEMS在内的半导体产业将迎来巨大的机遇。北方华创愿与业界同仁加强合作，携手共迎5G时代，带给产业无限可能。