科创板助推半导体设备龙头加快发展 行业回暖信号显现

　　近日，CINNO Research公布最新统计的中国大陆半导体设备厂商市场规模数据，2023年上半年，中国大陆半导体设备厂商前十大公司营业收入合计超过160亿元，同比增长39%，其中科创板上市公司占据七个席位。

　　据统计，目前科创板作为我国半导体公司主要上市地，产业链环节日益完善，已汇聚了十余家国内半导体设备龙头企业，其中，中微公司、盛美上海、华海清科、拓荆科技分别位列中国大陆半导体设备厂商市场规模排名的第二至五名，上半年营业收入均突破10亿元大关。芯源微、华峰测控、新益昌分别位列第七、第九和第十名。

　　半导体业内人士认为，在科创板的助力下，半导体设备公司正持续加大创新要素投入、推进“卡脖子”领域的科研攻关，有力推动半导体产业链的国产化进程。同时，调整后的半导体行业回暖趋势已现，长期来看半导体设备公司发展前景仍值得期待。

　　重点公司在手订单充沛

　　从基本面情况看，科创板半导体设备公司在手订单充沛，在行业周期性下行之际仍保持较高的成长性。据9月27日盛美上海自愿性公告披露，公司在手订单总金额为67.96亿元：其中已签订合同订单总额65.26亿元，同比增长约4成；已中标尚未签订合同订单2.7亿元，同比增长近16倍。盛美上海在手订单充沛，保障收入持续稳健增长，今年上半年公司营业收入和归母净利润分别同比增长46.94%和85.74%。

　　晶升股份、中科飞测、中微公司、华海清科4家公司的归母净利润增速超过100%。其中，晶升股份今年4月在科创板上市，公司的半导体级单晶硅炉已达到国内领先水平，28nm以上制程工艺已实现批量化生产。2023年上半年受益于销售规模扩大，批量订单验收量增加，公司实现营业收入1.14亿元，同比增长75.79%，归母净利润1508.77万元，同比增长447.17%。

　　中微公司同样在半年报中表示，公司产品订单正在持续增长。上半年，公司实现营业收入25.27亿元，同比增长28.13%，公司的刻蚀设备市场占有率不断提高。在国际最先进的5纳米芯片生产线及下一代更先进的生产线上，公司的CCP刻蚀设备实现了多次批量销售，已有超过200台反应台在生产线合格运转。公司的ICP刻蚀设备不断地核准更多刻蚀应用，迅速扩大市场并不断收到领先客户的批量订单。

　　推动产业链自主可控

　　从板块角度，设立四年多以来，科创板已支持超过100家半导体公司上市，约占A股同行业公司6成，IPO募资超过2800亿元，涵盖上游芯片设计、中游晶圆代工及下游封装测试等三大主产业链环节，兼备半导体制造设备、材料及IP、EDA芯片设计工具等支撑环节。

　　其中，半导体设备作为半导体产业乃至整个电子行业发展的基石，对于半导体国产化具有非常关键的战略意义。从国产化率来看，国内部分低端制程设备逐步实现国产替代，但高端制程设备仍严重依赖进口。根据国际半导体产业协会(SEMI)数据，2022年中国晶圆厂商半导体设备国产化率较2021年明显提升，从21%提升至35%。

　　业内人士分析，现阶段，国产设备对于28nm及以上制程的工艺覆盖度趋于完整，正在积极推进14nm及以下制程的工艺突破，产品处于密集验证期并逐步开启规模化量产阶段。目前去胶设备、清洗设备等国产化率较高，而光刻设备、涂胶显影设备、量/检测设备的国产化率尚处于较低水平。

　　目前，科创板上市的半导体设备公司达到12家，覆盖涂胶显影、刻蚀、清洗、薄膜沉积、化学机械抛光、测试等关键环节设备。其中，中微公司(刻蚀设备)、拓荆科技(薄膜沉积设备)、芯源微(涂胶显影设备)、盛美上海(清洗设备)、华海清科(化学机械抛光设备)等公司代表着国内相关领域的最先进水平。

　　事实上，在资本市场助力下，科创板半导体公司自上市以来不断加大研发力度，2022年全年研发投入金额达到27.61亿元，同比增长42%。研发投入带动创新成果不断突破，有力推动半导体设备产业链的自主可控。例如，芯源微的涂胶显影设备成功从“后道”工艺切入“前道”工艺，在多项关键技术方面打破国际厂商垄断，取得重大突破。华海清科在纳米级抛光、纳米精度膜厚在线检测、纳米颗粒超洁净清洗、大数据分析及智能化控制等关键技术层面取得了有效突破和系统布局。9月26日，该公司公告，首台12英寸单片终端清洗机HSC-F3400机台出机发往国内大硅片龙头企业，是公司继CMP设备、减薄设备之后，在湿法设备系列产品中推出的又一项重要成果。

　　业内称行业有望加速走出周期底部

　　受经济周期下行、地缘冲突等多因素影响，自2022年全球半导体市场出现结构性分化，行业进入下行周期。展望未来趋势，研究人士预测，今年上半年半导体行业周期处于筑底阶段，随着经济复苏、消费回升，我国半导体行业有望加速走出周期底部。从科创板半导体公司2023年第二季度业绩看，合计实现营业收入538.08亿元，环比上涨18%，实现归母净利润55.37亿元，环比上涨49%，业绩回暖明显。

　　太平洋证券在近期研报中分析称，根据研究机构Omida统计，2023年第二季度半导体行业营收1243亿美元，环比增长3.8%，结束了连续5个季度的下行趋势。随着消费电子等传统需求的逐步回暖及生成式人工智能等新需求的拉动，半导体行业周期触底在即，后续有望迎来复苏。

　　平安证券则认为，中短期内，国内半导体产业成熟制程有望快速拓展，形成存量国产替代和产业增量拓展的双重推手；外部市场环境优越，国内半导体设备厂商迎来前所未有的机遇。远期看，先进制程快速发展，半导体工艺复杂度大幅提高，对半导体设备的市场需求也随之攀升，待国内先进制程取得突破后，对设备产业链将起到巨大的带动作用。

　　值得关注的是，近期美国出口管制政策出现调整。10月13日，BIS(美国商务部工业和安全局)正式宣布延长三星、SK海力士在华工厂出口管制豁免，该规则将于10月17日生效。中信证券对此分析称，随着三星和SK海力士在华工厂成功获得“无限期豁免”，未来这两家公司在华工厂可以继续升级和扩产，原有的不确定性被大大消除，外资晶圆制造厂在华资本开支有望持续投入，驱动设备零部件订单向好，设备零部件企业有望受益。