南大光电:承接的“ArF光刻胶开发与产业化项目”按项目计划于2020年底2021年初接受国家02专项专家组的验收
摘要: 感谢您的关注!公司承接的“ArF光刻胶开发与产业化项目”按项目计划于2020年底2021年初接受国家02专项专家组的验收,具体验收时间会根据专家组的通知安排调整。
有投资者向南大光电(300346)提问, 董秘:您好!公司承担的02国家重大专项光刻胶项目是否已经通过国家重大专项办的验收?高端ARF193nm客户试验进度如何?生产线是否已建,与苏州瑞红研发的krf248nm相比有哪些优势?谢谢
公司回答表示,感谢您的关注!公司承接的“ArF光刻胶开发与产业化项目”按项目计划于2020年底2021年初接受国家02专项专家组的验收,具体验收时间会根据专家组的通知安排调整。目前已安装完成一条 193nm 光刻胶生产线,正在调试。193nm 光刻胶作为当前高端芯片制造( AI 芯片、5G 芯片、大容量存储器和云计算芯片等)中最为核心的原材料,被喻为半导体工业的“血液”,可以用于 90nm~14nm 技术节点的集成电路制造工艺。
南大光电,300346